潔凈室是一種特別潔凈的環(huán)境,例如科學(xué)研究或醫(yī)療技術(shù)、光學(xué)或半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中敏感產(chǎn)品的制造所必需的。潔凈室是通過每房間體積的外來顆粒污染來衡量的。根據(jù)粒子的數(shù)量有幾個(gè)級(jí)別。
因此,在這種環(huán)境中使用的機(jī)器和器具必須滿足某些特性。為此,根據(jù)它們對(duì)空氣中顆粒濃度的影響,它們被分為九個(gè)不同的類別。這些由 ISO(國際標(biāo)準(zhǔn)化組織)標(biāo)準(zhǔn)化。
分類機(jī)器的特點(diǎn)是摩擦學(xué)顆粒釋放(磨損)低、靜電性能低和衛(wèi)生設(shè)計(jì)。材料的選擇和技術(shù)功能都會(huì)影響釋放的粒子數(shù)量和數(shù)量。沒有裂縫或間隙的光滑表面可減少污染源的發(fā)生。
根據(jù) ISO 14644 標(biāo)準(zhǔn),這些設(shè)備根據(jù)它們對(duì)空氣中顆粒濃度的影響進(jìn)行分類。它們分為潔凈室等級(jí) ISO1 至 9 之一。每個(gè)等級(jí)描述了每立方米不同的最大顆粒量,其中 1 是可以達(dá)到的最佳等級(jí)。
純度為 ISO9(最大 293,000 個(gè) ≥ 5.0 μm(微米)的顆粒)至 ISO6(最大 293 ≥ 5.0 μm)的機(jī)器廣泛用于食品行業(yè)。半導(dǎo)體和芯片行業(yè)的規(guī)定更加嚴(yán)格。為了防止靜電干擾和污染,所使用的潔凈室認(rèn)證設(shè)備符合更精細(xì)的分類 ISO5(最大 29 ≥ 5.0 μm)至 ISO1(最大 2 ≥ 0.2 μm)。