一、潔凈室用材的選擇 

1.必須仔細選擇潔凈室的各種用材，確保它們不會對室內(nèi)造成污染。潔凈室內(nèi)經(jīng)常使用的材料與設(shè)備舉例如下： 

1) 生產(chǎn)中使用的材料：在微電子工業(yè)中使用的硅晶片； 

2) 產(chǎn)品包裝材料：如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、預(yù)制的盒子等； 3) 工藝設(shè)備和機器； 

4) 對設(shè)備和機器進行維修、校準(zhǔn)、修理的工具以及轉(zhuǎn)動設(shè)備的潤滑劑等； 5) 人員服裝，如潔凈工作服、手套、指套、口罩、頭罩等； 6) 潔凈室清潔用品，如抹布與拖把； 

7) 消耗性用品，如書寫紙張、圓珠筆、標(biāo)簽、棉簽。 

在大多數(shù)潔凈室中粒子和纖維都是環(huán)境污染的主要來源。所以，應(yīng)避免在生產(chǎn)工藝中使用容易破損或散發(fā)粒子的材料。其表面帶有粒子和纖維的材料也應(yīng)避免使用。 

在半導(dǎo)體工業(yè)中，產(chǎn)品表面的化學(xué)品和空氣環(huán)境中的某些氣體分子可能形成的化合 物，會沉積在半導(dǎo)體的表面上，它們可能影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚**損壞半導(dǎo)體芯片。 

在一些潔凈室中，那些無法將靜電不斷地傳導(dǎo)開的材料，可能會因為靜電荷的積累和放電使那些對靜電敏感產(chǎn)品會受到損壞。此外，靜電還會使材料產(chǎn)生靜電吸附效應(yīng)而吸附粒子，造成污染問題。 

選擇用于潔凈室內(nèi)的生產(chǎn)材料，不僅僅要著眼于適合于生產(chǎn)工藝，而且也應(yīng)關(guān)注是否有可能產(chǎn)生污染。顯然對那些既可能構(gòu)成污染，但又是生產(chǎn)所需的材料和物品，只有在缺之不可的情況下才能使用，或只有在已經(jīng)充分認識到了這些材料產(chǎn)生污染的問題，并考慮了其他替代材料但又確實都不適合后，才可使用。 

2.以下所列舉的部分乃**全部物品，因其會造成潔凈室的嚴(yán)重污染，根據(jù)產(chǎn)品對污染的敏感性不同，一般禁止在潔凈室中使用。 

1) 非潔凈室專用紙，如果一定要使用普通紙，應(yīng)將其放入塑料袋內(nèi)或采用雙面熱塑； 2) 鉛筆與橡皮、墨水中含有污染潔凈室環(huán)境的化學(xué)品、纖維頭書寫筆或者會劃紙的圓珠筆、修改液； 

3) 用低碳鋼或其他會生銹、磨蝕、氧化的材料制成的物品； 4) 用機器加工或處理時會冒煙或破損的物品； 

5) 用木頭、橡膠、紙張、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破損物品； 6) 研磨材料或粉末、產(chǎn)生氣溶膠的瓶瓶罐罐；7) 不適合于在潔凈室中使用的一次性物品，如棉簽、膠帶、標(biāo)簽； 

8) 潔凈室人員不得將第8章8. 12節(jié)中開列出的個人物品帶入潔凈室內(nèi)。 

二、外部供應(yīng)的物品及其包裝 

如果物品的供應(yīng)商對潔凈室要求知之甚少，或根本不予關(guān)心，那么它所供應(yīng)的物品在進人潔凈室時可能已受到了嚴(yán)重污染。在某些情況下，這可能是造成污染的一個重要原因。因此，為解決這類問題應(yīng)采取一些措施。 

1. 外供物品宜在潔凈環(huán)境中產(chǎn)生 

供應(yīng)潔凈室的物品要求在潔凈環(huán)境中生產(chǎn)，其潔凈度標(biāo)準(zhǔn)宜與產(chǎn)品所供應(yīng)的潔凈室相 同。如果外部供應(yīng)物品交付時不能達到適當(dāng)?shù)那鍧嵥疁?zhǔn)，則必須在潔凈室中對其加以清 潔，但這樣做的效果可能差些。有越來越多的公司在潔凈環(huán)境中制造供應(yīng)潔凈室生產(chǎn)所需 的零部件，潔凈室管理人員應(yīng)該向本企業(yè)采購部門強調(diào)，要關(guān)注潔凈室物品供應(yīng)商的生產(chǎn) 環(huán)境。應(yīng)盡量選擇質(zhì)優(yōu)價廉，又是在相應(yīng)潔凈環(huán)境中生產(chǎn)的潔凈室用品，以保證本企業(yè)潔 凈室的潔凈度和減少清潔外供物品的耗費。 

參觀考察供應(yīng)商的生產(chǎn)設(shè)施并檢查其生產(chǎn)環(huán)境是很必要的。外供物品生產(chǎn)廠家可能并 不熟悉潔凈室技術(shù)。所以，對他們的生產(chǎn)工藝的一些簡單建議和改進，就可能產(chǎn)生不錯的效果。即使制造廠家不具備潔凈生產(chǎn)環(huán)境，但只要有較高水平的潔凈管理條件，使用潔凈室用的手套、抹布、不起毛的服裝等，也可大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。 

2. 外供物品的包裝材料 

應(yīng)注意產(chǎn)品的存儲和包裝。如果加工的產(chǎn)品從生產(chǎn)設(shè)備上取下后立即用合適的潔凈包 裝方式包裝好，則周圍較差的生產(chǎn)環(huán)境對產(chǎn)品的影響就可以降****小。 

外供物品的包裝方法和包裝材料必須考慮所供應(yīng)的潔凈室的潔凈度等級，包裝的尺 度、外形均應(yīng)符合貯藏、運輸、開箱過程中防污染的要求，對包裝材料的主要要求有以下 幾點•. 

1) 包裝材料的無污染性：要求包裝材料本身不產(chǎn)生粒子、纖維、污染氣體及蒸汽等， 不明顯地帶靜電，不與包裝品產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)； 

2) 包裝材料必須使用能夠清潔到包裝物品所要求的潔凈度的材料； 

3) 材料的強度及耐久性：包裝材料應(yīng)承受溫濕度、外部作用力和紫外線等影響，能夠保證所要求的密封性，避免運輸、存放過程中破損而污染，以致將污染帶入潔凈室中。 

潔凈室外供用品的良好包裝，不僅可以避免產(chǎn)品在運輸途中的損壞，也可以**大限度地避免產(chǎn)品受到外部環(huán)境的污染。常使用的塑料材料為塑料薄膜或預(yù)制的包裝塑料。塑料材料與其他許多材料相比，粒子、纖維、化學(xué)污染較少。塑料污染的大小取決于所使用的塑料種類、制造方法以及包裝 方式。所以，對所用塑料包裝是否適宜也要進行檢驗。有些塑料會產(chǎn)生靜電，從而可能損壞產(chǎn)品。如果使用防靜電塑料，它對粒子及纖維的 吸附作用也較小，因此也更潔凈。如果需要控制分子污染的話，則有些塑料包裝材料（如 PVC包裝材料），可能就不適用了。 #p#分頁標(biāo)題#e#

3.外供物品的包裝方式 

還要考慮的是需要幾層包裝。如果潔凈室用的物品采用的是多層包裝，就可以在其運往潔凈室的過程中一次打開一層逐步拆裝，這就可以保證物品送**潔凈室時是較潔凈的。對外包裝用真空吸塵器吸掃外表面及用潮濕抹布擦拭，有助于保持其清潔，特別是在將產(chǎn)品運往潔凈室的開始階段，尤其如此。隨著產(chǎn)品逐步進入潔凈室，外包裝也變得越來越潔凈，相對而言外包裝的清潔工作就顯得不那么必要了。 

包裝物品有各種各樣的正確方法。不同的物品、不同的用途、材料傳遞氣閘室的不同設(shè)計等使得包裝方法也有很大區(qū)別。所以，潔凈室的管理人員必須規(guī)定適用的包裝材料， 規(guī)定所需物品在進入潔凈室的過程中對包裝進行清潔和打開各層包裝的規(guī)程。 

三、 通過氣閘室傳遞物品和小件設(shè)備 

任何潔凈室都不免要和其他低潔凈級別區(qū)或非潔凈區(qū)發(fā)生物品傳遞的情況，減少傳遞 過程中污染物的侵入是重要的日常管理工作。 

通常使用氣閘室、緩沖間以避免潔凈室外的空氣直接進入潔凈室內(nèi)。在氣閘室的兩個門均關(guān)閉時，從外走廊在開門時侵入的污染以及使用氣閘室的人所散發(fā)出的污染，均被氣閘室的送風(fēng)所稀釋。材料傳遞氣閘室的兩個門如同人身凈化的吹淋室一樣，一般都是聯(lián)鎖的。這樣就可以 確保一扇門關(guān)閉之前另一扇門是不能打開的，可采用電氣聯(lián)鎖，也可以是機械聯(lián)鎖。這樣就可以防止外部較低潔凈級別或非受控區(qū)的空氣直接進人潔凈室。粘墊則放在氣閘室人口處，或者氣閘室內(nèi)。粘墊的作用是防止鞋底或推車輪子上粘附的污染轉(zhuǎn)移到潔凈室內(nèi)。氣閘室也用來防止材料表面及其包裝上的污染物帶入潔凈室。以下介紹了兩種通過氣 閘室傳遞材料的方法。一種是“有臺”式材料物品傳遞氣閘室；另一種是“無臺”式材 料物品傳遞氣閘室。可根據(jù)所傳遞的材料物品及傳遞的安全性選用。 

1.帶傳遞臺的氣閘式傳遞室 

“有臺”式材料物遞氣閘室是將供應(yīng)品安全地傳遞進潔凈室的方法之一。這種方式就 是由傳遞臺將氣閘室分成“較臟”與“清潔”兩個區(qū)，這種方法適用于傳遞較輕、可以由人力搬動的材料和設(shè)備。 

使用傳遞臺傳遞物品的方法如下： 

1) 清潔傳遞臺：先將非受控區(qū)一側(cè)的門打開，搬運材料或設(shè)備的人員，從較低潔凈 級別或非受控區(qū)進入氣閘室。氣閘室地面鋪有粘墊或粘毯，這樣，從外面地板向內(nèi)轉(zhuǎn)移的 污染就可以**少。搬運人員按規(guī)定方法對傳遞臺進行清潔，必要時對其進行消毒，進行清 潔工作時要注意，較長的傳遞臺面被分為兩個區(qū)域，靠潔凈室一側(cè)為“清潔”區(qū)，靠較低 潔凈級別或非受控區(qū)一側(cè)為“拆包”區(qū)，如圖10-1所示。2) 送入傳遞物品并拆包：完成清潔工作后，搬運人員將帶包裝的物品送人氣閘室。 但不得把紙板箱的包裝材料帶入氣閘室內(nèi)，因為它們會散發(fā)較多粒子，易造成交叉污染。 將帶著塑料包裝的物品送人氣閘室后，將其放置在傳遞臺的“拆包”區(qū)一側(cè)，即所謂的 “帶包裝”側(cè)或“臟”側(cè)。隨即對包裝進行清潔，然后拆開包裝。其具體清潔方法根據(jù)使 用物品的潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)而定，**別潔浄室要求“精潔凈”，一般潔凈室要求則略低。然 后把物品放置于傳遞臺的另一側(cè)，即所謂的“包裝已拆”側(cè)或“潔凈”側(cè)。將物品從外 部區(qū)域送人氣閘室內(nèi)的人員攜帶裝置外包裝的容器，關(guān)上通往外部區(qū)域的門，離開氣 閘室。 

3) 氣閘室充分自凈：讓氣閘室處在無人狀態(tài)下數(shù)分鐘的時間，以便將污染降**這樣 的濃度：當(dāng)潔凈室一邊的門打開時，潔凈室不會受到大的影響。為實現(xiàn)這一目的，可安裝 內(nèi)外門的聯(lián)鎖計時裝置或指示燈。當(dāng)潔凈室側(cè)門自動打開或指示燈點亮后，潔凈室的人員 進人氣閘室，拿起物品后離開氣閘室，如圖10-2所示。